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本文標題："物理量測量微機械制造技術-微觀顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-5-12 1:27:18 本站主頁地址：http://m.f0211.cn
物理量測量
微薄膜材料的力學性能，如殘余應力、彈性模量、抗拉強
度和斷裂韌性等，是決定微機械特性的重要參數(shù)。微薄膜與塊材有
著不同的力學性能，人們對其力學性能所知甚微，常規(guī)的方法難以
測試微薄膜的力學性能，但可以考慮利用諧波頻率法。
殘余應力測量
在微機械構(gòu)件制造過程中，會在構(gòu)件內(nèi)留下殘余應力。因殘
余應力的作用，利用微機械制造技術制作出兩端固定梁，將受軸向
力作用。設均值等截面的兩端固定梁所受的軸向應力是均勻分布的
、各部位是相等的。
測量與結(jié)果
測量懸臂梁和兩端固定梁的一階諧振頻率，從而求其彈性模
量和殘余應力。諧振頻率的測量系統(tǒng)中，被測固定梁固定在電極上
方，在電極與硅梁間施加正弦電壓，使電極與硅梁間產(chǎn)生靜電引力
，使硅梁產(chǎn)生振動。把激光聚焦于懸臂梁的自由端或兩固定梁的中
間，用光電二極管接受硅梁反射來的光束。使光電二極管的受光面
與反射來的光束的光斑部分相交，硅梁上下振動時，光斑與受光面
積也對應地增減，輸出的電壓也隨之增減。硅梁振幅越大，輸出的
電壓越大。調(diào)節(jié)加在硅梁與電極間的驅(qū)動電壓的頻率，輸出電壓的
振幅極大時的頻率為梁的一階諧振頻率。
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