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本文標題："熱作用可引起儀器各部分的不均勻受熱,測量顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-9-18 10:26:41 本站主頁地址：http://m.f0211.cn
熱作用可引起儀器各部分的不均勻受熱,測量顯微鏡
為了消除振動的影響，干涉儀基本元件的連接剛性必須
相當高，以保證元件的間距變化不超過0．03μm．按壓殼體
時，允許干涉條紋出現(xiàn)顯著偏移，但減壓后干涉條紋必須返
同原始位置，誤差不超過0．05個干涉條紋．為減小干涉儀對
振動的敏感性，得將儀器裝上減振器．
熱作用可引起儀器各部分的不均勻受熱，致使干涉條紋
偏移．為此，、最好將干涉儀的各部件相互配置得愈近愈好，
并以一共用的絕熱罩絕熱。光源應離開儀器相當遠，其功率
必須是最低限度的．必須在接通照明器并使干涉儀溫度穩(wěn)定
達1—1．5小時后才可開始精密測量．
在對干涉儀進行調(diào)整和用來工作時，儀器的主要元件必
須移動方便、可靠和足夠準確．后一項要求與剛性要求有所
矛盾，因此，在設(shè)計時必須探索滿足共同要求的最佳結(jié)構(gòu)方
案．
制造廠對儀器進行基本調(diào)整，以保證在運輸中原調(diào)整情
況保持不變?yōu)槎�，這樣，就可以使問題局部解決．在使用過
程中則僅調(diào)整規(guī)定間隔與傾角的干涉條紋，并且，僅在個別
情況下才改變干涉條紋的定位．
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