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本文標(biāo)題："高精度表面的輪廓數(shù)據(jù)測量工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-7-18 22:44:30 本站主頁地址：http://m.f0211.cn
高精度表面的輪廓數(shù)據(jù)測量工具顯微鏡
通常.這些測量儀有較
大的測量范圍.對于某些表面形狀，精度是足夠的.而對較小的光學(xué)表面，可以
使用一臺高梢度x-y掃描儀。如果使該儀器安裝上能夠滿足待測表面對高度和分
辨率要求的光學(xué)探頭，就能高質(zhì)量地測量光學(xué)表面。作為非接觸探頭類儀器.必
須介紹彩色探頭和所謂的錐光探頭
采用這種基本思路，特別是測量強彎曲表面和非球面時，光學(xué)表面計量的一
種趨勢，或者進一步說，是以三坐標(biāo)測量儀為基礎(chǔ)，并使其適應(yīng)光學(xué)計量的具體
要求.
一般地，以三坐標(biāo)測量儀為基礎(chǔ)能夠保證探頭相對于待測表面精確的
全方位定位，探頭本身傳送高精度表面的輪廓數(shù)據(jù)，一般是高度數(shù)據(jù)。
在這種方式中，最佳應(yīng)用包括位移測量干涉儀(DMI)完成的全方位定位測量
以及探頭外高分辨率局部數(shù)據(jù)。下面討論應(yīng)用該原理的具體例子。
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