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本文標(biāo)題:"表明輪廓測量儀器常識(shí)-超細(xì)微探針顯微鏡"

新聞來源:未知 發(fā)布時(shí)間:2013-4-22 0:59:01 本站主頁地址:http://m.f0211.cn

表明輪廓測量儀器常識(shí)-超細(xì)微探針顯微鏡


AFM電子顯微鏡,配合使用超細(xì)微探針,探針尖端尺寸可降低到10 nm以下等級(jí),參考NIST之AFM量測線寬方法,

變更為雙傾斜影像疊合量測法,先將試片順時(shí)針傾斜,此時(shí)探針掃描由左往右,量測影像之左側(cè)為探針實(shí)際量測試片線寬之實(shí)際輪廓影像,
再將試片逆時(shí)針傾斜時(shí),探針掃描由右往左(量測影像,同樣試片右側(cè)輪廓為探針實(shí)際量測試片線寬右側(cè)之幾何形狀,繼之以影像疊合技術(shù)組合量測影像,疊合后,
取第一次掃描之左測影像與第二次掃描之右測影像;

在旋轉(zhuǎn)試片時(shí),以試片量測位置表面為旋轉(zhuǎn)中心,所以旋轉(zhuǎn)試片后,量測位置偏移很小(約為40 μm),

能調(diào)整AFM掃描范圍,所以二次量測都能在同一位置。

影像疊合組合技術(shù),是利用ICP(Iterative closest point)數(shù)學(xué)式,此法可算得兩張圖像相對(duì)應(yīng)之旋轉(zhuǎn)與平移矩陣,
再擷取多張相近圖像之迭代運(yùn)算后可收斂出一張最接近之疊合影像。經(jīng)影像疊合后之量測影像,需補(bǔ)償修正探針之尖端半徑后,
才能得到試片奈米結(jié)構(gòu)線寬之實(shí)際形貌

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